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三维表面计量系列报告(1):共聚焦光学显微镜扩展形貌测量的几何误差表征与校准

Created Date 8/19/2019 晶晶   View Numbers  67 Return    
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报告人:王陈博士
报告时间:2019年8月20日  上午10:00
地点:东区9号楼114讨论室
 
报告摘要:随着精密制造技术的快速发展,近几十年来,测量精度和误差校准一直是受到关注和深入研究的热门领域。本报告介绍了一种用于表征和校准成像共聚焦光学显微镜在表面扩展形貌测量时XY方向的几何误差。描述了基于刚体动力学假设,由线性位移,直线度误差,角度误差等引起的位移不准确。介绍了根据共聚焦显微镜的轴链矢量以及系统运动学所建立并推倒的数学模型及算法。基于合成数据及点网格标定件的测量数据通过算法处理所得到的结果对所提出的方法进行了讨论和评定。
 
报告人简介:王陈,西班牙马德里理工大学制造工程博士,日本国立情报学研究所实习研究员。主要研究方向为三维表面计量(surface metrology)。博士研究课题为共聚焦光学显微镜三维表面表征的不确定度及溯源性研究。所从事的课题为西班牙国家科技创新计划项目,获得了西班牙国家经济部的资助。研究内容主要有原始测量数据异常值检测,滤波分析(filtration),校准(calibration),不确定度评定(uncertainty evaluation),表面高度参数化(parameterization),台阶高度评定(step height), 以及ISO25178、ISO16610等标准算法。在日本国立情报学研究所实习期间主要研究内容为三维结构性表面特征分割(surface segmentation)。


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